Skip to main

ONKI

Käytettävä termi

atomlagerdeposition

Ohjaustermit

Käsitteeseen ohjaavat termit.
  • ALD-metoden
  • ALD-teknik

Kuuluu ryhmään

Ryhmä, johon käsite kuuluu.

URI

http://www.yso.fi/onto/allars/Y46100

Lataa tämä käsite