Hyppää sisältöön

Hae sanastosta

Sisällön kieli

Käsitteen tiedot

Käytettävä termi

atomlagerdeposition  

Ohjaustermit

  • ALD-metoden
  • ALD-teknik

Kuuluu ryhmään

URI

http://www.yso.fi/onto/allars/Y46100

Lataa tämä käsite: