Käsitteen tiedot
Käytettävä termi
atomikerroskasvatus
Ohjaustermit
- ALD-menetelmä
- ALD-tekniikka
Kuuluu ryhmään
URI
http://www.yso.fi/onto/ysa/Y196616
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}